从事
平面研磨加工的朋友都知道在超精密研磨抛光较薄脆零件过程中,
研磨盘和工件是做相对摩擦运动的,研磨盘与工件的局部接触区域往往会出现高温,有时甚至可以达到几百度。局部的高温不但会烧伤零件表面,形成加工变质层,而且会引起零件的局部变形,同时,平面研磨机局部高温区的热量还会以热传导的方式传到整个研磨盘,使研磨盘也会发生热变形,研磨盘作为研磨加工的磨具,其面型精度能在一定程度上“复制”到工件表面。
因此,平面研磨机在进行研磨抛光过程中研磨盘自身的热变形对工件的面型精度一定会有影响。而且研磨盘温度越高,越不均匀,工件所受的变形影响越大。因此及时地将局部研磨盘高温区的热量驱散,合研磨盘各部分的温度比较均匀且处于较低的水平是非常的必要的。