平面研磨抛光机台可应用于不同材质平面工件,于加工时同时控制磨盘平坦度,提高工件精度,降低表面粗糙度,达到奈米镜面效果,而研发部门根据客户之独特需求,提供制程解决方案,使其能达到客户全方位需求。
图标平面研磨抛光机加工时作动原理。
可依制程选配各式不同客制化的功能
1.磨盘冷却循环系统
2.研磨液供应系统
3.厚度控制治具
4.POWER HEAD
5.POWER ARM
6.摇摆机构
7.厚度设定
8.真空吸盘
平面研磨抛光机加工范例 :
不锈钢镜面模具、真空吸盘、半导体芯片(eg : silicon wafer GaAs、GaP、LiNbO3、LiTaO3、etc),水晶玻璃(Sapphire),陶瓷零件、碳化钨零件、铜铝零件、超音波焊头、震荡子零件、Ferrite,机械轴封,移印钢版、针车零件、玻璃、石英。