研磨加工有着其它加工技术无可比拟的长处:研磨属于典型的“直接创造性加工”或者称为“进化加工”;即在工作母机上采取提高精度的措施(微量进给、低研磨速度、不断改变研磨运动方向等)直接加工出比工作母机精度更高的零件。这是因为当研具与工件接触时,在非超精密平面研磨划痕形成的建模与仿真强制性研磨压力作用下,能自动地选择局部凸出处进行加工,故仅切除两者凸出处的材料,从而使研具与工件相互修正并逐步提高精度。超精密研磨的加工精度与构成相对运动机床的精度几乎是无关的,主要是由工件与研具间的接触性质和压力特征、以及相对运动轨迹的形态等因素决定的。
此外研磨加工适应性好,可以加工各种金属材料、半导体材料、玻璃材料等固体材料,可以加工平面、孔、外圆和硅片基片等常见外形。超精密研磨是正在追求切削和磨削的加工效率,同时它本身具有切削和磨削达不到的加工精度和质量。研磨加工具有适合于大批量生产、设备简单、操作方便、加工精度高等特点。